(Кондуктивни задњи премаз): Обично се састоји од хром нитрида како би се смањило накупљање статичког електрицитета и олакшало електростатичко држање.

Технологија литографије је витални део данашње производње полупроводника, а њен напредни степен директно одређује перформансе и квалитет производње чипова. Овај извештај ће представити најнапреднију технологију литографије и размотрити њену трансформацију од традиционалне до напредне.
I. TонHеад оф тхеEнтерприсе
Тренутно, у области технологије литографије, водеће компаније углавном укључују холандски АСМЛ, Јапан Никон и Цанон. Међу њима, АСМЛ је највећи светски добављач машина за литографију, са тржишним уделом већим од 90%. АСМЛ-ова технологија екстремног ултраљубичастог зрачења (ЕУВ) је тренутно најнапреднија технологија литографије и широко се користи у производњи чипова.

ИИ.КонвенционалноLитхограпхиTецхникуес
Конвенционалне технике литографије углавном користе ултраљубичасто (УВ) или дубоко ултраљубичасто (ДУВ) као извор светлости. Недостатак ове технологије је што је резолуција ограничена, што отежава производњу чипова веће прецизности и мањих ширина линија. Поред тога, ДУВ технологија захтева употребу скупих литографских маски приликом производње напредних чипова, повећавајући трошкове производње. Стога, традиционална технологија литографије више не може да задовољи потребе тренутне производње чипова.
ИИ.ЕУВ технологија
ЕУВ технологија је нова врста литографске технологије, њен извор светлости је екстремно ултраљубичасто (ЕУВ), таласна дужина је само 13,5 нанометара, што је више од 10 пута краће од таласне дужине ДУВ технологије. То значи да ЕУВ технологија има већу резолуцију и мању ширину линије, што може омогућити прецизније чипове. Поред тога, ЕУВ технологија захтева да се за производњу чипса користи само једна маска, што може значајно смањити трошкове производње.

Остварен је значајан напредак у примени ЕУВ технологије у производњи чипова. Према ИЦ Инсигхтс-у, ЕУВ технологија је чинила 5% глобалног тржишта производње чипова у 2019. години, порасла је на 13% у 2020. и очекује се да ће достићи 31% до 2024. Од 2022. АСМЛ је испоручио ЕУВ литографске машине на више од 40 произвођача чипова широм света, укључујући познате компаније као што су Самсунг и Интел.


ИВ.Изазови ЕУВ технологије
Иако се примена ЕУВ технологије у производњи чипова брзо развијала, она се и даље суочава са неким изазовима. Пре свега, цена опреме ЕУВ технологије је висока, а цена ЕУВ литографске машине може достићи десетине милиона долара или чак више, што је недоступно за нека мала предузећа за производњу чипова. Друго, стабилност и поузданост ЕУВ технологије тек треба да се побољшају, што захтева квалитетније изворе светлости и маске, као и прецизнији дизајн и производњу машина. Поред тога, производна ефикасност ЕУВ технологије треба да се побољша, а тренутни производни капацитет по сату је далеко од задовољавања потреба производње чипова великих размера

V. Будућност
Иако се ЕУВ технологија и даље суочава са неким изазовима, постала је главни тренд у тренутној области производње чипова, а будући развојни изгледи су обећавајући. Уз континуирани развој науке и технологије, цена опреме за ЕУВ технологију ће се постепено смањивати, стабилност и поузданост ће се такође побољшати, а ефикасност производње ће се побољшати. Поред тога, у будућности се могу појавити напредније технологије литографије, као што су литографија заснована на фотонским кристалима и технологија само-састављања, за које се очекује да ће додатно побољшати тачност производње и ефикасност производње чипова.
У закључку, развој технологије литографије је кључан за индустрију полупроводника, а ЕУВ технологија, као најнапреднија технологија литографије, има широку примену и наставиће да буде један од главних трендова у производњи чипова у будућности.