Колико врста везивања лијечења вафла има? Ова слика је коначно јасна!

Које су врсте везања од вафла?

Као што је приказано на горњој слици, објаснимо услове један по један.
Трајно везано
Сврха је да се формира неповратна комбинација механичке структуре, која се највише користи за 3Д интеграцију, МЕМС, ТСВ и остало паковање уређаја.

Привремено везивање / нетрњивање

Сврха је пружање привремене подршке током обраде уређаја, која се може уклонити касније и често се користи за ултра - танку прераду важер.

Танки вафли су вежени помоћу привремених лепкова или средњих потпора (носачи) и након завршетка, они су теретани / ласерски / хемијски методи.

Стално везивање: подељено на следеће две категорије на основу присуства средњег слоја:

Директно лепљење без средњег слоја

1. Фусион Лепкинг / Директно или молекуларно лепљење

Начело: Површинским равним способностима и хидрофилним третманом, везивање на површини два вафла јавља се на површини два трупа и накнадно топлотно жарење промовише лепљење.

Карактеристике: Нема средњих материјала, висока снага везања.

Апликације: СОИ вафер измишљотине, МЕМС, СИ- СИ или СиООН - Сио₂ лепљење.

2 бакар - хибридни лепљење бакра / оксида

Принцип: Атоми бакра и бакра су директно повезани, а површина помаже диелектрични слој као што је Сиод.

Карактеристике: Погодно за високи - 3Д паковање и помешано - сигнални ИЦС.

Апликације: Логика - Интеграција меморије за напредне пакете као што су ТСВ, ХБМ, хибридно лепљење.

3. Анодско лепљење

Принцип: На високој температури (~ 300 степени) и високо електрично поље, формира се електростатичка атракција између стакла и силицијума и миграција силицијума и јона.

Карактеристике: чврсто везивање, погодно за стакло - си.

0020-26474 6 "Прстен за стезање

Апликације: МЕМС уређаји, пакети сензора притиска.

2,IНДирецт Ленгингсасредњи слој

(1) изолациони преплет

а. Стаклено лепљење

Принцип: Користите ниско "топљење стакла за топљење и проток под условима грејања да бисте формирали везу.

Апликације: Прикажи плоче, МЕМС.

б. Лепљење лепка

Принцип: Користите епоксидну смолу, БЦБ и друге органске лепкове за формирање обвезница.

Карактеристике: Ниски захтеви за површинску равност, ниско - процес температуре.

Апликације: Ваффер - ниво паковања, привремено везивање.

ц. Еутектичко лепљење

Принцип: Објектирање се формира помоћу ниске тачке топљења металних еутектичких поена (као што је АУ - сн).

Апликације: БАБЛИНГ МЕМС, оптоелектронски уређаји.

(2) метални преплет

 

а. Рефлинг лемљење

Принцип: СН и други материјали за лемљење користе се за топлину и затим се враћају да формирају везу са јастучићем.

Апликације: Вафер - Левел Амбалажа (ВЛП), Мицро- Бумп Лепсинг.

б. Метална термокомпресијска веза

Принцип: Комбинирајте металне слојеве (као што су ЦУ) под високим температурама + под високим притиском.

Карактеристике: Користи се у високој паковању - густине, обично се налази у ТЦБ процесима.

Апликације: ХБМ слагање, Цовос, за - ВЛП итд.