Гасни систем опреме за нагризање

Корак јеткања захтева употребу разних гасова за јеткање, који су такође познати као процесни медијуми у процесу реакције. Гасни систем опреме за нагризање одговоран је за транспорт процесног медијума од извора гаса до унутрашњости реакционе коморе, која се углавном састоји од гасне кутије (Гасбок), плоче за хомогенизацију (Гаспанел), мерача протока (МФЦ) и цевовод.

Функција гасне кутије је да подеси притисак гасовитог процесног медијума из извора гаса (посебни цилиндар за гас или гасовод фабрика плочице) преко разних контролних вентила, а затим га уведе у цевовод гасног пута од опрема за гравирање. Будући да је већина гасова који се користе у производњи интегрисаних кола опасна, како би се осигурала безбедност, кућиште кутије гасног кола је обично обложено антикорозивним средством, а постављен је спољни прозор за посматрање, а унутрашњост је такође у стању негативног притиска. Поред тога, гасна кутија је опремљена разним системима за праћење, који одмах прекидају довод гаса и алармирају када се открије цурење гаса. Гаспанел је једна од кључних компоненти гасног система, а такође је и полупроводнички метални део који је тешко обрадити. Диск за хомогенизацију се обично састоји од четири слоја металних дискова, од којих сваки има много малих рупа и сложених и малих ваздушних путева. Након што се гас за нагризање подеси помоћу кутије за пут гаса, улази у цевовод, а затим пролази кроз тацну за хомогенизацију и на крају се транспортује у реакциону комору стабилном и равномерном брзином. Диск за хомогенизацију треба да има карактеристике отпорности на високе температуре, ниско загађење честицама и отпорност на корозију, а за заваривање вишеслојних металних дискова потребно је користити посебне методе како би се спречило унутрашње цурење. Пошто је диск за хомогенизацију повезан са основним кораком усисавања ваздуха приликом јеткања, неке компаније које се баве опремом одлучују да сарађују са предузећима за прецизну обраду метала на развоју и производњи дискова за хомогенизацију; Поред тога, Фујикин вентили у Јапану су такође важни произвођачи униформних дискова.

Опрема за јеткање користи мерач масеног протока (МФЦ) за праћење и контролу брзине којом гасови за јеткање улазе у реакциону комору. Пошто је брзина уноса ваздуха повезана са стабилношћу реакције нагризања, опрема за гравирање има високе захтеве за опсег протока, тачност контроле и време одзива стабилности протока мерача масеног протока. Мерачи протока се могу поделити на тип аналогног кола, тип дигиталног кола и тип компензације промене притиска. Мерач протока за компензацију промене притиска може аутоматски да компензује флуктуацију притиска извора гаса како би се обезбедио стабилан ток излазног гаса у реакциону комору. Главни произвођач мерача масовног протока је Хориба у Јапану.