РФ систем опреме за нагризање

РФ систем се обично састоји од РФ генератора и РФ подударања, један је од основних система опреме за гравирање, тренутно тржиште у овој области углавном заузимају Унитед Статес Иоуии Семицондуцтор (АЕ), Вањи Инструмент (МКС) и Цомед Ед. РФ напајање је напајање које може да генерише фиксну фреквенцију напона синусног таласа и има велику снагу. Након што гас за нагризање (углавном ЦФ4) прође у реакциону комору кроз гасни систем, он се јонизује помоћу високофреквентног електричног поља (обично 13,56МХз) које генерише РФ напајање, што доводи до светлећег пражњења, које довршава прелаз са молекула гаса на јоне, формира плазму и побољшава реактивност гаса. РФ напајање је директно повезано са концентрацијом плазме, униформношћу и стабилношћу у реакционој комори. У већини уређаја за гравирање, РФ напајање се користи у комбинацији са ДЦ напајањем за контролу густине и енергије јона, респективно. Због убрзавајућег ефекта електричног поља, јони обично нагризају плочице иу физичким и у хемијским облицима. Поред тога, РФ системи су важан део опреме за таложење танког филма, машина за дегумирање, јонских имплантатора и опреме за чишћење.

Уобичајена комбинација конфигурација РФ система за опрему за гравирање је РФ напајање фиксне фреквенције и подесиви упаривач. Током процеса гравирања, упаривач ће аутономно подесити унутрашњи подесиви кондензатор тако да одговара излазној импеданси самог извора напајања и импеданси реакционог оптерећења како би се постигла пуна излазна снага РФ извора напајања. У идеалном стању усклађивања, сви РФ сигнали се могу пренети на позицију оптерећења и рефлектована снага њихове енергије је смањена. Када импеданса оптерећења и импеданса излаза радио напајања нису у одговарајућем стању, мали део улазног сигнала ће се рефлектовати назад до РФ извора на крају оптерећења, а излазна снага РФ снаге снабдевање није у потпуности искоришћено, што смањује ефикасност реакције јеткања.