Предвакумски транспортер (Лоадлоцк) и главно тело платформе за пренос

Предвакумски транспортер је преносна комора за атмосферу и вакуум, која се користи за изолацију реакционе коморе од директног контакта са спољашњом атмосфером, како би се обезбедила чистоћа реакционе коморе и смањила вероватноћа контаминације реакцијске коморе комора. Када предњи модул треба да покупи и постави плочицу на предвакумски транспортер, треба је напунити азотом, притисак ваздуха у шупљини се подесити на атмосферско стање, а затим преносни вентил предвакумског транспортера. -вакумски транспортер са стране предњег модула се отвара за преузимање и постављање облатне; Приликом преузимања и постављања вафла из коморе за пренос (део платформе за пренос) у тело за предвакум пренос, потребно је користити вакуум пумпу за испумпавање гаса у претвакум преносном телу, прилагођавање вакууму. стање, а затим отворите вентил за пренос на другој страни тела за пре-вакумски пренос, а затим извршите преузимање плочице и постављање.

Специфични кораци за транспорт вафла у систему за пренос су следећи: сва врата су затворена → отвори за пуњење облатни су отворени, врата касете за вафле су отворена → атмосферски манипулатор граби обланду из чамца за вафле касете → плочица се поставља на поравнавач→ позиција плочице је калибрисана→ гас азота се пуни у ЛоадЛоцкА→ врата ЛоадЛоцкА су отворена→ атмосферски манипулатор поставља плочицу у ЛоадЛоцкА→ затвара врата ЛоадЛоцкА→ ЛоадЛоцкА усисава → отвара врата реакционе коморе → Празан манипулатор ставља плочицу у реакциону комору → реакција се одвија → након што се реакција заврши, реакциона комора се усисава → врата преносне коморе се отварају → вакуум манипулатор помера плочицу у комору за пренос→ затвара врата реакционе коморе→ отвара врата ЛоадЛоцкБ, → вакуум манипулатор помера плочицу у ЛоадЛоцкБ→ затвара врата ЛоадЛоцкБ→ ЛоадЛоцкБ је напуњен азотом → отвара врата ЛоадЛоцкБ→ атмосферски манипулатор помера плочицу из ЛоадЛоцкБ → затвара ЛоадЛоцкБ