Какав је утицај температуре површине плочице на суво нагризање?

Ефекти површинске температуре на суво нагризање углавном укључују: таложење полимера, селективност, проток фотоотпорника, испарљивост производа и брзину нагризања, морфологију површине, нагризање, јеткање

Таложење полимера: Полимери произведени током процеса се таложе на површини, утичући на брзину нагризања и селективност. Температура утиче на брзину таложења и стабилност полимера, при чему високе температуре разлажу или смањују слојеве таложења, а ниске температуре повећавају таложење полимера.

0021-09835 R2Линер је део за гравирање.
Селективност: Селективност материјала за јеткање и материјала за маскирање је веома осетљива на температуру. Превисоке температуре ће смањити селективност нагризања јер ће се убрзање брзине нагризања поклопити са маском за гравирање. Фоторезист: Када фоторезист тече на високим температурама, фоторезист ће омекшати, тећи, па чак и створити пликове, што ће резултирати изобличењем топографије.
Испарљивост производа и брзина нагризања: Температура утиче на испарљивост нуспроизвода хемијских реакција, а нуспроизводи су испарљивији на високим температурама, што помаже да се повећа брзина јеткања. Ниске температуре, с друге стране, доводе до остатака нуспроизвода и смањују ефикасност нагризања.
Топографија јеткања: Температура јеткања је блиска температури стакластог прелаза (Тг) материјала, а топографија површине је уједначена. Температура јеткања је много нижа од температуре стакластог прелаза, а површинско нагризање је неуједначено и храпавост је велика.