Објашњење знања о полупроводницима: ПВД знање 30 питања

01

Шта је Таргет?

Одговор: У ПВД-у, мета је метални материјал који се користи за стварање филма.

02

Који је принцип ПВД процеса?

Одговор: Поред велике разлике потенцијала између мете и плочице, процесни гас Ар се дисоцира у Ар под разликом високог нивоа, а затим Ар позитивно привлачи електрично поље и судара се са метом, тако да метална зрна генерисана метом падају на плочицу и формирају филм услед гравитације, овај процес је ПВД

.

03

Који је материјал опште металне жице у полупроводницима?

Одговор: волфрамова жица (В) / алуминијумска жица (Ал) / бакарна жица(Цу).

04

Које врсте металних филмова се могу добити у ПВД-у?

Одговор: Алуминијум (АЛ), титан (Ти), титанијум нитрид (ТиН), кобалт (Цо). Генерално, када плочица уђе у ПВД машину, она мора бити обложена титанијум/титанијум нитридом/алуминијумом/титанијум/титанијум нитридом. Петослојни метал, кобалт функционише као силицид.

05

Која је функција титанијума (Ти)?

Одговор: Смањите отпор металног контакта.

06

Која је функција титанијум нитрида (ТиН)?

Одговор: (1) Као слој дифузијске баријере, блокира дифузију између алуминијума и силицијум оксида. (2) Као лепљиви слој, волфрам и силицијум оксид се не лепе добро, а додавање титанијум нитрида између њих може повећати адхезију једно на друго. (3) Као АРЦ слој, антирефлексни слој је неопходан да би се смањила висока рефлективност алуминијума како би се постигла висока резолуција у процесу микроснимања.ТИН комораје контејнер у коме се процес одвија.

07

Након што је комора у стању приправности неко време, зашто треба да радите Думми?

Одговор: Након што је комора у стању приправности неко време, стање коморе (вакуум, температура) се незнатно мења. Ако то не урадите, то ће утицати на првих неколико комада производа. Генерално, процесни инжењер формулише правила времена приправности према стварном стању, а затим производни оператер ставља штанд у облогу коморе (његов рецепт је сличан рецептури производа). Након ДУММИ-а, стање коморе ће се вратити на нормалан ниво, тако да можете мирно да производите.

08

Зашто морам да додам малу количину бакра у алуминијумску мету?

Одговор: Када се струја креће у алуминијумском металном слоју, атоми алуминијума ће се кретати дуж интерфејса зрна, ако је ова појава превише оштра, то ће узроковати ломљење металне жице, додавањем мале количине бакра може спречити алуминијумску жицу да разбијање.

09

Пошто додавање бакра може спречити шиљке алуминијума, зашто додати само 0.5%?

Одговор: Превише бакра ће изазвати потешкоће са нагризањем (бакар хлорид није испарљив).

10

Зашто ПВД мете треба хладити?

Одговор: Избегавајте да је површинска температура мете превисока, што ће изазвати феномен испаравања и учинити квалитет металног филма нестабилним.

11

Зашто је потребно контролисати чистоћу воде када машина мора да користи воду за хлађење?

О: Спречите стварање каменца или изолацију.

12

Зашто се процесни гасовод мора загревати?

Одговор: Спречите процесни гас да се кондензује у течност, што ће утицати на процес.

13

Шта је ПМ? Зашто алатима треба ПМ?

Одговор: ПМ је превентивно одржавање, а одговарајуће мере одржавања или замене се предузимају за одговарајуће делове (резервне делове) машине по циклусу, како би се одржала стабилност перформанси машине, спречио пад приноса процеса. , и продужавају животни век машине и делова.

Према распореду, може се поделити на месечно одржавање, квартално и годишње одржавање.

По броју наполитанки је за одржавање количине.

14

Зашто инжењер мора да охлади грејач на одговарајућу температуру када ради ПМ?

О: За безбедност инжењера и машина.

15

Зашто комора мора да се испече када инжењер ради ПМ?

О: Да бисте избацили гас, спречите да нечисти гасови уђу у филм и утичу на процес.

16

Какву улогу ПВД и В-ЦВД играју у производњи ИЦ?

О: Алуминијум и волфрам су метални слојеви, а жице које повезују уређај и пакет чине путању између њих, тако да струја може несметано да тече.

17

Шта је Баке оут?

Одговор: Када инжењер ради ПМ, када се комора отвори, унутрашњост коморе је изложена атмосфери, а када инжењер заврши ПМ, мора да изврши печење, загреје комору и отера молекуле воде и други гасови причвршћени изнутра, како би се повећао ниво вакуума.

18

Који се гас користи у ПВД процесу?

Одговор: Н2 против Ар. 

19

Која је сврха Н2 и Ар у ПВД процесу?

Одговор: Након што се Ар јонизује електронима, метак који постаје мета погађа мету и обара атоме ЦИТЕ на плочицу, а сврха Н2 је да нитридује површинске атоме мете.

20

Зашто користити Ар као извор гаса за ПВД распршивање?

Одговор: (1) Туп гас, није лак за хемијске промене. (2) Тешка маса (АМУ 40), добар ефекат прскања. (3) Цена је јефтина.

21

Колики је процесни притисак ПВД-а?

О: 2~20 мТорр.

22

Пројекат ПВД мерне машине: Зашто?

О: Индекс рефлективности, дебљина, отпорни лист, честица, униформност.

23

Зашто машина користи хелијум за откривање цурења?

Одговор: (1) Количина хелијума у ​​атмосфери је веома мала, зато избегавајте погрешне прорачуне. (2) Хелијум има јаку пропустљивост и лако је открити цурење. (3) Хелијум је туп гас, који није лако изазвати загађење или корозију.

24.У ПВД процесу, зашто морам да уклоним оригинални оксидни слој пре премаза?

О: Оригинални оксидни слој се уклања унапред тако да отпор између металних слојева није превелик и да се повећа адхезија између филма и подлоге.

25. Зашто ПВД користи једносмерну струју?

Одговор: Коришћењем једносмерне струје, заједно са одређеном количином аргона (гас Ар), у вакуумској комори ће се формирати плазма (плазма). Јони у јонском металу погађају мету, обарајући атоме мете на плочицу и формирајући метални филм.

26.Зашто машине морају да користе воду за хлађење?

Одговор: Контролишите температуру како бисте спречили да температура буде превисока и да оштети машину.

27.Шта је процесни комплет?

Одговор: Унутар коморе се формира штит, а премаз може спречити да се премаз нанесе унутар коморе, и може се уклонити ради чишћења или замене сваки пут када је ПМ.0020-40946 ПРСТЕН ПРСТЕН, 8" СННФ, АЛ,0020-27113 КЛАМП ПРСТЕН 6 СМФ ТИ,0020-24896 ПОКЛОПАЦ 6" ССТ 101 АЛ,0020-28205 6" ПРСТЕН ЗА ПОКЛОПАЦ,0021-35946 Ивични прстен, ТКСЗ, 200 мм, СННФсу сви метални делови процесних комплета.0200-00221 ИЗОЛАТОР КВАРЦ, 8'и0200-00218 Цовер Топ Куартз 8" ПЦИИсу кварцни делови процесних комплета.

28. Зашто груба вакуум пумпа треба да користи суви тип уместо уља?

Одговор: Спречите повратни ток уља у машину.

29

Колико вакуум пумпи се користи за ПВД?

О: Груби вакуум се пумпа са атмосферског притиска на 5 мТорр за груби вакуум, а крио пумпа се пумпа од 5 мТорр до 10Е-9 Торр за високи вакуум.

30 Како могу постићи високи вакуум у 30ПВД процесу?

О: Користите пумпу високог вакуума.